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Heater
设备功能：用于控制EFEM中Particle（颗粒物）含量，还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH（相对湿度）
关键词：
Heater
所属分类：
EFEM辅助设备
产品附件：
咨询热线：
Heater
设备功能及信息概述：
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设备功能 |
用于控制EFEM中Particle（颗粒物）含量，还可以控制EFEM中的酸碱有机物及RH（相对湿度） |
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设备特点 |
加热器采用 PTC 型陶瓷加热器，该类型加热器具有安全性能好，热阻小，换热效率高等优点 |
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Control Box具有报警指示灯、蜂鸣器、 控制按钮和显示屏、 EMO 急停按钮等，方便操作人员对设备进行简单操作和数据监控 |
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控制形式 |
采用PLC 作为控制器，配备 EtherNet、 RS232、干接点信号等通讯功能。 PLC 系统实时通过温湿度传感器实时采集 EFEM 的温湿度值，并将数据处理并存储。 |
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